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由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的,因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進(jìn)行測量。廣泛用于研發(fā)和在線質(zhì)量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩(wěn)定性
Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀特點
可以非接觸、非破壞性方式測量薄膜厚度
厚度范圍從 10 nm 到 1000 μm,多可測量三層
不僅能測量薄膜厚度,還能測量光學(xué)乘數(shù)(n、k)(多達(dá) 3 個總參數(shù))
支持微小點測量
還可測量濾光片顏料膜厚
Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀測量原理
假設(shè)在折射率為 n2 的基底上有一層厚度為 d、折射率為 n1 的薄膜,如圖所示。 考慮從空氣(折射率 n0)入射到薄膜上的光線。 光在美麗的路徑上被反射,在穿過薄膜并反射到基底表面的成分中,還有一個成分從薄膜中射出,可以作為反射光被捕獲。 由于光是一種波,這些反射成分會相互干涉。 考慮到入射光垂直于基底入射,這種干涉的減弱和加強(qiáng)取決于光學(xué)膜厚度 n d(即絕對膜厚度 n 乘以厚度 d)和波長。
Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀技術(shù)規(guī)格
型號 | TFW-100(1) | TFW-100(2) | TFW-100(3) |
用途 | ITO薄膜厚度 | 一般膜厚用 | 濾光片膜厚 |
膜厚范圍 | 10nm~500nm(C/F) | 150nm~1.5μm(C/F) | 500nm~10μm(C/F) |
500nm~15μm(FFT) | 1.5μm~60μm(FFT) | ||
測量重現(xiàn)性 | 0.2%~1%(取決于膜材質(zhì)) | ||
波長范圍 | 300nm~1000nm | 400nm~700nm | 900nm~1600nm |
光源 | Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀12V-100W 鹵素?zé)?/span> | ||
測量軟件 | TF-Lab (曲線擬合法/ FFT法) |